赵文勇;周洪;丁玉强;本文通过两步法合成得到两种混配型镧配合物,La(tmod)_3-DMEA(tmod=2,2,6,6-四甲基-3,5-辛二酮根,DMEA=N,N'-二甲基乙二胺,1)和La(tmod)_3-MEDA(MEDA=N-甲基乙二胺, 2),并用~1H NMR,~(13)C NMR,元素分析和X射线单晶衍射对配合物进行了表征。X射线单晶衍射的结果显示,配合物1和2均为单体结构。热重结果证明含N双齿中性配体的不对称性能够增强其与镧原子之间的结合力,进而提高混配型配合物的挥发性。以配合物2为前驱体,臭氧为氧源,成功的在SiO_2/Si(100)衬底上沉积得到La_2O_3薄膜。最佳的工艺参数:前驱体2和臭氧的脉冲时间分别为6和5 s,薄膜的生长速率为0.032 nm/cycle, ALD窗口为240~280℃。
2026年01期 v.44;No.219 71-81页 [查看摘要][在线阅读][下载 1310K]